BROOKS布魯克斯儀器公司是您值得信賴的合作伙伴，因為我們的流量，壓力和汽化儀器不僅僅精確。還是可靠的。穩(wěn)定。可重復(fù)的。耐用。

 BROOKS質(zhì)量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1設(shè)計采用*可配置多氣體/多量程功能，相較于競爭產(chǎn)品擁有更好的零點漂移參數(shù)并且經(jīng)確證能夠更持久地保持出廠校準(zhǔn)狀態(tài)和精度。

BROOKS質(zhì)量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1產(chǎn)品優(yōu)勢：

BROOKS質(zhì)量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1是一款橡膠密封熱式質(zhì)量流量控制器，經(jīng)驗證具有*靈活性，能夠滿足各種質(zhì)量流量測量需求。

優(yōu)勢：

• 傳感器的長期穩(wěn)定性可降低對維護和定期校準(zhǔn)的要求，從而降低總體經(jīng)營成本
• 布魯克斯儀器*的熱感測技術(shù)可提供的信噪比性能從而提升低設(shè)定值條件下的測量和控制精度
• 選擇一個設(shè)備平臺即可滿足不同氣體和流量范圍的需求
• 可存儲并預(yù)先設(shè)定多達六種氣體校準(zhǔn)信息，用戶僅需一臺設(shè)備即可在不同氣體和量程間輕松切換并減少庫存
• 對用戶開放的服務(wù)端口簡化了安裝、故障排除和診斷操作并且不會干擾流量控制器工作
• 耐用、穩(wěn)定的金屬頂蓋可防止設(shè)備在安裝期間受損
• 多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作
• 基于標(biāo)準(zhǔn)的高級計量系統(tǒng)和初級校準(zhǔn)系統(tǒng)可確保設(shè)備精度

BROOKS質(zhì)量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1實物圖：

BROOKS質(zhì)量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1規(guī)格參數(shù)：

流量范圍-滿量程容量.003 - 2500 slpm
精度：
0.9% of SP (20-100% FS)
0.18% of FS (2-20% FS)
1-50 slpm: 0.18% of SP (1-20% FS)
1100 slpm up to 2500 slpm: 1.0% of FS
重復(fù)性：0.20% SP
響應(yīng)時間-常閉：
0.003 - 100 slpm: <1 second
100 - 2500 slpm: <3 seconds
大壓力：
.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar
100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar
Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device
控制范圍：
1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.
50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.
零點穩(wěn)定性：< 0.2% F.S. per year
溫度系數(shù)：
Zero: <0.05% of F.S per oC
Span: <0.1% of S.P. per oC
壓力系數(shù)：
0.03% per psi (0-200 psi N2)

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BROOKS質(zhì)量流量控制器型號：

SLA5850
SLA5860
SLA5851
SLA5861
SLA5853
SLA5863

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